Çin, SAQP’yi DUV makinelerine uygulayarak, yalnızca ASML tarafından satılan daha gelişmiş EUV araçlarına ihtiyaç duymadan sofistike 5 nanometre sınıfı çipler üretebilir.
Kaynaklara göre, yerel yarı iletken ekipman lideri Naura Technology Group, litografi sistemlerine yönelik ön araştırmalara Mart ayında başladı.

Pekin merkezli Naura Teknoloji Grubu geçen ay litografi sistemleri üzerinde araştırmalara başladı. Konuya aşina olan kişilere göre, Çin’in kendi yarı iletken alet üreticileri Hollandalı dev ASML’nin en son ekipmanı olmadan gelişmiş çipler üretmek için geçici çözümler denerken, ABD’nin Çin’in çip yapma yeteneklerini kontrol altına alma girişimlerini potansiyel olarak engelleyebilecek bir atılım.
Çin’in yarı iletken tedarik zincirindeki çok sayıda oyuncuyu kapsayan bu çabalar, Huawei Technologies’in geçen ay transistör yoğunluğunu ve çip performansını artırmak için silikon levhalar üzerindeki çizgileri birden fazla kez aşındırabilen kendinden hizalı dörtlü desenleme veya SAQP olarak bilinen bir tekniği ortaya koyan bir patent başvurusuyla ön araştırma ilerlemesi kaydetti.
İlk olarak Bloomberg tarafından bildirilen Çin Ulusal Fikri Mülkiyet İdaresi’ne yapılan bir başvuruya göre, gelişmiş aşındırma ve litografiyi birleştiren patent, “devre modellerinin tasarım özgürlüğünü artıracak”.
Çin, SAQP’yi Hollandalı dev ASML ve Nikon gibi Japon tedarikçilerin derin ultraviyole litografi (DUV) makineleriyle birlikte kullanarak, yalnızca ASML’den temin edilebilen daha gelişmiş aşırı ultraviyole (EUV) araçlarına ihtiyaç duymadan sofistike 5 nanometre sınıfı çipler üretebilir.
Çinli şirketlerin EUV teknolojisine erişimi engellendi, ancak Washington ve müttefiklerinin daha sıkı ihracat kontrolleri korkusuyla son yıllarda DUV makineleri stokladılar.

Çin Devlet Başkanı Xi Jinping geçen hafta Pekin’i ziyaret eden Hollanda Başbakanı Mark Rutte’ye “hiçbir gücün Çin’in bilimsel ve teknolojik gelişim ve ilerleme hızını durduramayacağını” söylerken, Çin Ticaret Bakanı Wang Wentao da Hollandalı mevkidaşı Geoffrey van Leeuwen’e Hollanda’nın “sözleşmeden doğan yükümlülüklerini” yerine getirmesi ve litografi makinelerinin “normal” ticaretini sağlaması gerektiğini söyledi.
Bu arada Çin’in kendi litografi makinelerini geliştirmeye yönelik on yıllık çabası bir duvara çarptı. Ülkenin tek litografi sistemleri üreticisi olan devlete ait Shanghai Micro Electronics Equipment Group (SMEE), ASML ile eşdeğer makineler geliştirmeye yaklaşamadı.
Aralık 2022’de SMEE, ulusal güvenlik kaygıları nedeniyle ABD’nin ticari kara listesine eklendi, bu da bir atılım gerçekleştirme olasılığının daha da düşük olduğu anlamına geliyor.
Bir dizi Çinli yonga aleti üreticisi, ülkenin ithal makinelere olan bağımlılığını azaltma çabalarında önemli oyuncular olarak ortaya çıktı. Konu hakkında bilgi sahibi kaynaklara göre, yerel yarı iletken ekipman lideri Naura Technology Group, geçtiğimiz Aralık ayında özel bir program oluşturduktan sonra Mart ayından bu yana litografi sistemleri üzerine ön araştırmalar yürütüyor.
Görüşmeler özel olduğu için isimlerini vermek istemeyen kişilere göre şirket, küçük bir mühendis grubuna aşındırma ve film biriktirme konusundaki geleneksel uzmanlığının ötesinde litografi sistemleri üzerinde araştırma yapmaya başlamalarını söyledi.
Naura’nın bir sözcüsü Pazartesi günü Post’a verdiği demeçte, ayrıntıya girmeden bu bilginin “doğru” olmadığını söyledi.

Naura’nın yeni araştırma çabalarının sonuç vereceği kesin olmasa da, bu hamle ülkenin çip endüstrisinin, Çin’in yarı iletkenler ve yapay zeka alanındaki ilerlemelerini engellemeyi amaçlayan ABD tarafından yönetilen yaptırımları kırma kararlılığını gösteriyor.
Bu arada, bu çabalar, mevcut ihracat kontrollerini atlattıklarını düşünen Washington’un daha fazla yaptırımından kaçınmak için mutlak bir gizlilik içinde yürütülüyor. Bloomberg’in geçen ay bildirdiğine göre ABD hükümeti, Shenzhen merkezli teknoloji devinin gelişmiş çiplerde gözle görülür bir atılım gerçekleştirmesinin ardından Huawei Technologies ile bağlantılı bir dizi Çinli yarı iletken firmasını kara listeye almayı düşünüyor. Potansiyel hedeflerden biri, Huawei ile çalışan ve geçen yılın sonlarında SAQP ile ilgili bir patent alan devlet destekli bir çip aracı geliştiricisi olan SiCarrier.
Bu atmosferin ortasında Huawei geçen hafta, gizli çip üretim çabaları hakkında soru almaktan korktuğu için, genellikle yıllık sonuçları açıkladıktan sonra düzenlediği geleneksel basın toplantısına katılmadı.
Analistler, Pekin’in atılımlar elde etmek için tüm cephelerden kaynak çektiği için Çinli firmaların çip aracı tedarik zincirine dahil olmasının beklendiğini söyledi. ABD merkezli IC araştırma şirketi TechInsights’ın başkan yardımcısı Dan Hutcheson, litografi için aşındırma ve biriktirme uzmanlığı gerektiğinden, Çin’in SAQP araştırmasının Naura ve SMEE gibi şirketleri içermesinin muhtemel olduğunu söyledi.
Hutcheson, “Optik litografi adımlarını aşındırma ve biriktirme adımlarıyla değiştiren ve Çin’in 5 nm’ye ulaşmasına yardımcı olacak SiCarrier’ın SAQP patenti tarafından yönlendiriliyor” dedi.
Shenzhen merkezli SiCarrier, Aralık 2023’te Çin’in fikri mülkiyet otoritesi tarafından, 5 nm düğüm üretimine ulaşmak için DUV araçlarını ve SAQP’yi kullanma yöntemini tanımladığı benzer bir patent aldı.
Bloomberg’in haberine göre, Citigroup analistleri tarafından hazırlanan bir araştırma notunda, Naura ve yerel rakibi Advanced Micro-Fabrication Equipment’ın, 7 nm ve daha gelişmiş çipler elde etmek için aşındırma tekniklerini kullanan yeni bir çoklu desenleme teknolojisi üzerinde tamamlayıcı çabalar aradığı iddia edildi.
Elbette, 7 nm, hatta 5 nm sınıfı çiplere ulaşmak, Çin’in hala teknolojinin gerisinde olduğu anlamına gelecektir. Küresel dökümhane lideri Taiwan Semiconductor Manufacturing Co geçen yıl Apple için 3 nm yongalar üretti ve ASML’nin en yeni EUV makinelerinin sağladığı 2 nm silikona geçmesi planlanıyor.
Ancak Pekin ülkenin tüm yarı iletken tedarik zincirini harekete geçirme kabiliyetine sahipken çok az kişi Çin’e karşı bahse girmeye istekli. Şirketin Şubat ayında yaptığı hisse senedi başvurusuna göre, Naura 2023 yılı sonuna kadar 7.900’den fazla patent başvurusunda bulundu ve bunların 4.600’den fazlası için hak elde etti.